特点：高频逆变方式，使用工艺范围宽，能有效改善膜层质量，降低温升，细化颗粒，增加附着力，提高沉积速率改善膜层均匀性。485通讯。

电源配置：
1、标准配置：电源1台 3米输入电源线一根
2、选装配置：互锁保护装置一组