特点：中频交流磁控溅射电源能在充分满足电源工作的基础上实现合理而快速的灭弧功能；具备完善的欠压、过压、过载和过热等保护及显示功能；该电源支持双靶工作，可溅射非导电靶材，增加离化率有效克服靶中毒及异常放电。